直线电机生产厂家谈中企在芯片制造关键设备上的新突破

　　3月17日，中国电子科技集团有限公司传出好消息，该公司旗下装备子集团再度攻克一系列“卡脖子”技术。

　　很多人都知道，离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，而中国电子科技集团有限公司旗下装备子集团就是在离子注入机方面取得了重大突破，其成功实现了离子注入机全谱系产品国产化，包括中束流、大束流、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，累计形成了413项核心发明专利。

　　相信不久的将来，在芯片方面，我国在芯片“卡脖子”技术将会各个击破，其中包括光刻机技术，目前，中科院已“跑步”进场，宣布将把光刻机等列入其科研清单中。

　　说到光刻机，直线电机与之密切相关，直线电机主要作为掩模台系统的驱动装置，光刻机掩模台系统中直线电机运动工况分为扫描运动和定位运动，其中扫描运动主要完成硅片曝光处理，该运动对未定精度以及速度稳定性有很高要求，在稳定基础上追求时间的优化。

　　昆山同茂电子有限公司作为一家拥有十余年历史经验的直线电机生产厂家，其自研自产自销的直线电机在光刻机中已有实际应用，上海微电子（国产光刻设备智造商）就是咱同茂的合作客户。

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