音圈马达在光刻机中的应用

近几年，随着音圈马达技术的飞速发展，其被广泛运用于半导体设备当中，其中较为典型的便是光刻机。

光刻机的晶圆台、掩模台需实现纳米级精度的高速运动，核心依赖无摩擦音圈马达与磁悬浮系统。

除晶圆台外，光刻机的对准系统、镜头调节机构、上下料机械手等组件，也广泛采用无刷直流电机或音圈马达作为驱动部件。

其中，小编重点说说音圈马达在掩模台系统中的应用，在该系统中音圈马达 运动工况分为扫描运动和定位运动，其中扫描运动主要完成硅片曝光处理，该运动对定位精度以及速度稳定性有非常高的要求，在稳定基础上追求时间的优化。音圈马达系统具有较低的阻尼比，是光刻机很重要的要件。

昆山同茂电子有限公司深耕音圈马达 的研发、智造和销售十余年，成立以来始终以客户诉求为设计导向，采用欧美技术标准和加工工艺，专业为客户定制性能合理的音圈马达。目前同茂造音圈马达在光刻机领域也有实际应用案例，像上海微电子就是咱同茂的合作客户，先后多次从我司购入高性能音圈马达用于产品中。

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