音圈电机成为光刻机掩模台系统核心部件之一

一直以来，光刻机被誉为半导体产业皇冠上的明珠，由此可见其对半导体智造具有不可或缺的作用。据悉，光刻机按照用途可分为生产芯片的光刻机、封装芯片的光刻机以及用于LED制造领域的投影光刻机，其中用于生产的光刻机是中国在半导体设备制造上的大短板，国内晶圆厂所需的High End 光刻机大多依赖进口。

不过近几年，我国相关部门、企业正在努力攻克High End光刻机，相信功夫不负有心人，要不了多久，我国将会在High End光刻机上有所突破。

说到光刻机，其与音圈电机有着较为密切的关联，那音圈电机在光刻机中具体作用是什么呢？音圈电机主要用于光刻机掩模台系统，在该系统中音圈电机运动工况分为扫描运动和定位运动，其中扫描运动主要完成硅片曝光处理，该运动对定位精度以及速度稳定性有非常高的要求，在稳定基础上追求时间的优化。音圈电机 系统具有较低的阻尼比，是光刻机很重要的要件。

昆山同茂电子有限公司深耕音圈电机 的研发、智造和销售十余年，成立以来始终以客户诉求为设计导向，采用欧美技术标准和加工工艺，专业为客户定制性能合理的音圈电机。目前同茂造音圈电机在光刻机领域也有实际应用案例，像上海微电子就是咱同茂的合作客户，先后多次从我司购入高性能音圈电机用于产品中。

该文章源于昆山同茂电子有限公司(http://www.sztmmotor.com)原创，转载请注明出处。